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压电纳米精密定位台

压电纳米精密定位台

 压电纳米精密定位台

一轴压电纳米定位台

型号
最大负载(kg)
行程(µm)
噪声(nm)
共振频率(Hz)
线性度(%)
集成传感器
材质
nPX100
1
100
0.3
1000
0.01
电容
SS
nPX300
1
300
1
440
0.01
电容
SS
nPX600
1
600
2
310
0.01
电容
SS
nPXSG100
0.8
100
3
450
0.02
应变片
ss&al
nPXSG250
0.8
250
5
300
0.02
应变片
ss&al
nPXSG400
0.8
400
7
230
0.02
应变片
ss&al
nPFocus100
0.8
100
0.3/3
450
0.01/0.02
电容/应变片
ss&al
nPFocus250
0.8
250
0.7/5
300
0.02/0.02
电容/应变片
ss&al
nPFocus400
0.8
400
1.5/7
230
0.01/0.02
电容/应变片
ss&al
NPX25-105
1
25
0.1
4000
0.01
电容
Al
NPX60-223
1
60
0.2
1200
0.01
电容
Al
NPZ25-206
1
25
0.1
4000
0.01
电容
Super Invar
NPZ70-207
1
70
0.5
2000
0.01
电容
Super Invar
nPFocus100HD
1
100
0.5
1150
0.05
电容
ss&al
nPFocus100SL
0.3
100
3
240
0.02
应变片
ss&al
nPFocus1000
0.8
1000
5
135
0.02
电容
ss&al
NPZ100-209
0.3
100
3
400
0.05
应变片
Al
NPZ300-222
1
300
3
160
0.5
应变片
Al

 

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